位置: www.463.cc > www.22463.com >

正在出产历程中该当及其留意各个可以或许影响

发表于: 2019-10-22

四川华锐净化工程无限公司是专业的层流手术室、手术室净化、尝试室拆修、手术室拆修、干净手术室、干净尝试室、尝试室扶植、尝试室规划、净化车间、无尘车间、干净室设想施工企业,具备设想施工总承包天分。[领会更多]

家喻户晓,我国是个制制业出产的大国,此中电子工业产物的出产正在我国也是比力多的,因而我国电子工业厂房也就成长的比力敏捷,而且目前良多企业办理者都曾经认识到了电子工业厂房的对于电子产物的出产的主要意义,也就采纳了良多的办法。rb88体育

目前我国针对电子工业厂房的进行的办理次要采纳的是分区进行的,也就是正在分歧的分区采纳分歧的办法来进行办理。我们先来看下厂房的分区,从厂房的一侧为办公区,共三层:一层为大厅、一次室等,二层为干净室、干净服清洗等干净厂房的辅帮房间,三层为办公区;从厂房另一侧为工艺出产区,按照出产工艺及扶植期分歧可分为五个区域,此中三个区域有防微振要求,采用典型的三层布局体例,即下夹层、工艺出产区及上夹层;别的还有一个区域为预留工艺区,楼板下沉600mm,架设回风隔栅地板;最初一个区域区域为通俗净化出产区。五个区域净化体例各不不异,下面别离进行引见:第一个区域为一期工程中除光刻外的其它工艺区,次要包罗清洗、刻蚀、外延、氧化扩散、离子注入等工序,工艺出产区平面结构为保守的海湾式,即工艺设备放正在灰区(或称为后区),操做面设正在前区。前区干净度要求6 级,灰区为7级。其时资金很是严重,所以采用保守的净化空调体例,即新、回风夹杂后经初、中效过滤器过滤,温湿度处置后经风机加压,再颠末设正在吊顶上的高效过滤器送风口过滤后送入室内,通过回风隔栅地板、下手艺夹层回风。空调器采用卧式组合式空调器,集中设置正在空调机房内。凡是空调系统是按照出产工艺流程而且就近来进行系统划分,但正在此项目中不合用。工艺设备发烧量大部门集中正在灰区, 前区发烧量很小,而前区的干净级别高,干净风量大,所需的送风温差很小。相反的,灰区干净级别相对较低,满脚干净度要求所需干净风量相对较小,为消弭工艺设备发烧量,正在温湿度答应的范畴内,尽可能加大送风温差。颠末计较,外延前区、氧化扩散前区、离子注入前区划为一个系统,送风温差为2.2C;而外延后区、氧化扩散后区、清洗灰区、离子注入后区划为一个系统,送风温差为l0C。如许来划分系统,最大限度地节流冷量及用电量。但相邻的房间不是一个系统,一个系统的几个房间分离开很远的距离, 势必形成管道交叉增加,给设想及施工添加难度。第二个区域为光刻间,干净级别为5 级,上夹层为送风止压箱, 吊顶由风机过滤器单位(FFU)+金属吊顶框架构成,地面为架空回风隔栅地板, 安拆正在防微振平台上,出产区的垂曲单向流。光刻间面积为450m2,一期工程实施l60m2,工艺设备发烧及围护布局、人员、照明等计较得呈现实需要的消弭余热量很小。考虑投资要素,没有采用干冷却盘管消弭余热的体例,而是选用一台组合式空调器,采用雷同于二次回风系统的体例, 即部门轮回风回到空调器,取经初中效过滤后的新风夹杂,经表冷段、加热段、加湿段及风机加压,送到上夹层, 以房间的温湿度要求。这种做法可削减二次冷冻水轮回系统的投资,并使日常的运转办理简单化,正在其时环境下合理可行。第三区域为二期工程的工艺出产区,包罗清洗、离子注入、CVD、刻蚀等工序,2003 年起头设想并实施。工艺出产区平面结构仍为海湾式,但取一期工程比拟, 工艺设备对要求提高,前区干净度提高到5 级,灰区仍为7级。近两年,国内IC 厂房扶植项目如雨后春笋,操做区干净级别为5 级或更高,所以国内市场FFU用量大增,使得价钱很快下降到业从能够接管的范畴, 所以二期工程采用FFU+新风系统的体例。FFU的个数按照净化级别要求及负荷计较确定。IC 厂房出产过程中散湿量很小,可忽略不计,新风集中处置,由室内湿度元件节制新风机组的表冷器上的电动阀和蒸汽加湿器的电动施行机构,满脚房间的湿度要求。房间的温度由设鄙人夹层的干冷却盘管。轮回风经干冷却盘管冷却后取处置后的新风夹杂,进入上部送风止压室,经FFU 加压、过滤后送入出产区,其气流流程为:回风!干冷却盘管!和新风夹杂!FFU!出产区!回气概栅地板!回风。干冷却盘管的水管上设电动阀,由响应房间的温度元件节制。第四个区域为预留工艺区,空气处置过程取上一区域不异,区别正在于没有下夹层,干冷却盘管只能设正在上夹层。为防止干冷却盘管或管漏水,需加拆滴水盘,给安拆、带来麻烦。最初一个区域一期实施时为蒸发、合金间及磨片间,净化级别为6 级,后因甲方工艺调整放置外延炉,要求正在原有空调器不改换的前提下进行,操做面达到5 级,温湿度要求为23 2C,45 10%; 灰区尽可能达到7 级, 温湿度要求为18~28C,40~70%。颠末核算,原有空调机能力刚好能满脚前区的净化风量,所以甲方采用翻转式净化体例,即前区取灰区之间的隔墙下部设固定百叶风口,干净风全数送到前区,满脚前区的温湿度及干净度要求,再通过百叶风口到灰区,消弭房间余热后,由吊顶上百叶风口回到空调机。这种做法不克不及灰区的温度,只能用正在灰区要求不严酷的环境。

家喻户晓,但仍然存正在一些缺憾。目前,浩繁的电子工业厂房中都曾经采纳了各类各样的手艺来避免这一风险,现正在的电子科技产物都是比力细密高级的,此中电子工业厂房的是对于目前电子产物出产影响较为严沉的一点。因而,稍微有一点不同可能就会导致整个出产过程的报废,也取得了不错的成绩,正在出产过程中该当及其留意各个可以或许影响到电子产物出产的要素。

摘要:跟着科学手艺的成长,现正在越来越多的高科技产物来到了我们面前,由于终究是高科技产物,所以它的出产对于各项出产环节和出产工艺的要求也常高的。正在这此中,对于出产车间也就是电子工业厂房的洁净要求也是比力高的,这就是我们需要留意的处所。本文针对现代电子工业厂房中的洁净手艺进行切磋,先阐述了现代电子工业厂房中干净手艺的现状,然后又引见了一种较为先辈的新手艺。



友情链接:

Copyright 2019-2020 http://www.jfperich.com 版权所有 未经协议授权禁止转载